纳米材料
纳米材料是一个术语,包括所有纳米材料,包括工程纳米粒子、附带纳米粒子和自然界中存在的纳米物体。纳米为长度单位,1米=10的9次方纳米。纳米材料以生物材料或人类活动的副产品的形式存在于自然界中。例如,血红蛋白直径为5.5纳米,生物离子通道可以小到纳米的几十分之二。天然纳米材料,如火灾产生的烟雾和海上喷雾,存在于我们周围的空气中。人造纳米材料副产品包括汽车尾气和焊接烟雾。科学家们已经复制了包括荷花在内的几种天然物品的纳米结构,以创造用来制造防污渍服装和蜘蛛丝的防水表面生物。
(图片来源:nano.gov)纳米压印光刻工艺
纳米压印光刻(Nanoimprintlithography)是将结构复杂纳米结构图案“压印”或“印刷”到基底表面上的过程。具有表面浮雕图案的硬模具(掩模)压印抗蚀剂层。加热和加压力,然后将模具撤销,抗蚀剂上留下完整的纳米图案。
(图片来源:what-when-h优点:清洁,掩模可再利用,压印均匀,无缺陷。这过程简单,使用简单的机器在各种基板材料上印制3D图案。
缺点:用户正确覆盖掩模容易出现错误,以及模板上易出现缺陷和碎片。此外,分辨率越高,生产吞吐量越慢。
(来源:百度百科)卷对卷加工工艺
卷对卷加工工艺(Roll-to-rollprocessing(R2R))是一种在一卷超薄塑料或金属上大量制备纳米级电子器件的工艺。该过程类似于纳米压印光刻,但是辊子允许在更大的基板上印制图案,速度更快。
卷对卷(来源:tesa.